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  • PECVD等離子體增強氣相沉積

    PECVD等離子體增強氣相沉積是一款1200℃等離子增強混合物理化學氣相沉積（HPCVD)雙溫區回轉爐系統源（帶自動匹配功能）、上游原位蒸發舟、4通道質子流量計控制系統及性能優異的真空泵組成。此于無機復合粉末的熱處理及粉末表面的均勻包覆（如：制備鋰離子電池陰極粉末的導電涂層等）。

    更新日期：2025-03-13
    型號：
    廠商性質：代理商
  • OTF-1200X-II-PEC41200℃等離子增強HPCVD回轉爐系統

    1200℃等離子增強HPCVD回轉爐系統，OTF-1200X-II-PEC4是一款1200℃等離子增強混合物理化學氣相沉積（HPCVD)雙溫區回轉爐系統源（帶自動匹配功能）、上游原位蒸發舟、4通道質子流量計控制系統及性能優異的真空泵組成。此于無機復合粉末的熱處理及粉末表面的均勻包覆（如：制備鋰離子電池陰極粉末的導電涂層等）。

    更新日期：2025-03-13
    型號：OTF-1200X-II-PEC4
    廠商性質：代理商
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