勻烤膠一體機 適用于8英寸及以下晶圓的勻膠烤膠工藝 可選耐腐蝕PP柜體或不銹鋼柜體 配置自動供膠系統,根據客戶工藝選擇供膠方式 觸摸式人機交互界面,實時顯示設備運行狀態 高精度伺服控制系統,滿足勻膠工藝要求 可選配去邊、背洗、光刻膠溫控等功能 專業勻膠腔體,通過氣流控制可有效提升工藝指標 可選配置空氣凈化單元（FFU）

顯影機 適用于8英寸及以下晶圓的勻膠工藝 可選耐腐蝕PP柜體或不銹鋼柜體 全自動顯影擺臂,可實現顯影液、去離子水、氮氣的自動噴灑及吹干 根據工藝要求可選擇柱形、扇形顯影噴嘴 高精度伺服控制系統,性能穩定 升降式顯影腔體,可有效防止顯影液體的飛濺 根據工藝需求可選配顯影液控溫、FFU等功能

噴膠機適用于8英寸及以下晶圓的自動噴膠工藝 全封閉結構,不銹鋼框架、鏡面不銹鋼面板 高精度旋轉加熱平臺,具有晶圓真空吸附及自動頂升功能 供膠系統采用微小流量供液系統,流速連續平穩,流量精確可調 高精度超聲波霧化噴嘴,霧化顆粒均勻,超聲波霧化功率可調 觸摸式人機交互界面,可實現配方編輯及運行狀態監控