1200℃等離子增強HPCVD回轉爐系統，OTF-1200X-II-PEC4是一款1200℃等離子增強混合物理化學氣相沉積（HPCVD)雙溫區回轉爐系統源（帶自動匹配功能）、上游原位蒸發舟、4通道質子流量計控制系統及性能優異的真空泵組成。此于無機復合粉末的熱處理及粉末表面的均勻包覆（如：制備鋰離子電池陰極粉末的導電涂層等）。

設備名稱 

1200℃等離子增強HPCVD回轉爐系統—OTF-1200X-II-PEC4 

產品提示

 1、多種配件可選提示   2、特殊設備尺寸設備   3、科晶實驗室邀請提示   4、配件妥善保管提示

產品特點

 ? 爐體可在0 ~ 25°內傾斜有利于粉末樣品的裝入和取出

 ? 射頻電源可實現等離子增強從而顯著降低實驗溫度 

? 齒輪驅動管式爐旋轉可有效地提高復合粉末熱處理的均勻性

 ? 4通道質子流量計控制系統可以對氣體的輸送進行精確的調控 

? 集成在前端的帶鎢絲加熱的坩堝舟可以對前驅體進行蒸發用于后續的混合物理化學氣相沉積階段。

加熱爐參數

 ? 最高溫度：1200oC（<30min），連續工作溫度：1100℃；

 ? 兩個PID溫度控制器及30段可編程溫控系統；

 ? 輸入功率：208-240V，單相，最大功率：2.5KW；

 ? 高純氧化鋁纖維保溫層可以最大限度降低能耗； 

? 回轉爐旋轉速度：2-10rpm；

 ? 爐體開啟式設計，以達到對樣品快速降溫，方便更換爐管。

蒸發舟參數

 ? 0.7mL氧化鋁坩堝（由鎢絲加熱圈包圍）；

 ? S型熱電偶插入坩堝中實現對蒸發物料的精確測溫；

 ? 最高溫度可達1300℃（＜1h），長期使用溫度：1200℃（當管內溫度達800℃時，蒸發舟溫度可達1500℃）。

射頻電源

真空系統 

? 采用TRP-12的雙旋真空泵；

? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵；

? 真空度可達10-2Torr。

供氣系統

 ? 四通道質子流量計控制系統可實現氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）； 

 ? 流量范圍:一路 0-100 sccm二路 0-200 sccm三路 0-200 sccm四路 0-500 sccm 

 ? 電壓：208-240V， AC， 50/60Hz； 

 ? 氣體進出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管；

 ? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出；

  ? PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置。

產品尺寸和重量 

? 爐體尺寸：2800mm L ′ 800mm W ′1700mm H； 

? 混氣系統尺寸：600mmL′850mm W′700mm

? 凈重：180kg

承諾 

? 一年質保期，終身維護（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件）

 ? 因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。