為了使化學反應能在較低的溫度下進行，利用了等離子體的活性來促進反應，因而這種CVD稱為等離子體增強化學氣相沉積法（PECVD），內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命。

實驗機理：

•輝光放電等離子體中：電子密度高10A3-10A12cm3

電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍

產品特點：

•雖環境溫度在100-300℃，但反應氣體在輝光放電等離子體中能受激分解，離解和離化，從而大大提高了反應物的活性。因此，這些具有反應活性的中性物質很容易被吸附到較次溫度的基本表面上，發生非平衡的化學反應沉積生成薄膜。

•科晶公司提供定制的薄膜材料的實驗室質量可靠、價格合理的緊湊型PECVD系統。

•下圖顯示的是PECVD法用500W交流等離子體與OTF1200X50、7通道精密質量流量計和高真空系統氣體組成

開啟式管式爐：

•工作溫度：1200℃

•爐管尺寸：Φ50，Φ60，Φ80都可用

•溫度控制器：30段高精度數字可編程溫度控制器

•加熱區長度：440mm

•功率：AC220V 4KW

等離子射頻電源：

•輸出功率：50-500W最大可調+1%

•RF頻率： 13.56MHz，穩定性+0.005%

•噪聲：《55DB

•冷卻：風冷

•輸入功率：1KW AC220V

真空泵和閥門：

•采用KF25系列波紋管和精密針閥連接

•真空度可達10-3torr

本公司進口的防腐型數字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x1o^-5 至 1125Torr不需因測量氣體種類不同而需要系數轉換。

質子流量計：

•內部裝有高精度數字顯示質量流量計可準確的控制氣體流量

•氣體流量范圍為0-200 誤差為0.02%

•一個氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥

•不銹鋼針閥安裝在左側可手動控制混合氣體輸入

•進氣口：采用國際標準雙卡套接頭

外行尺寸：

•爐體：550*380*520mm

•供氣及真空系統：600*600*597mm

•凈重：120KG

開門斷電：

為保證使用安全，該電爐為開門斷電設計

質保期：

一年質保期相關耗材除外，如加熱元件，密封圈等易耗件

使用注意事項：

•爐管內氣壓不可高于0.02MPa

•由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

•當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態

•進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

•石英管的長時間使用溫度<1100℃

對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02Mpa,必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐管破裂，法蘭飛出等）