全自動/軌道式去膠剝離機
適用于8英寸及以下規格晶圓的去膠剝離工藝（Liftoff工藝）
不銹鋼柜體,觸摸式人機交互界面
耐腐蝕透明觀察窗,配置專業排風及排廢系統
8寸以下化合物（鉭酸鋰等）全自動去膠剝離工藝處理
適合聲表濾波器（SAW）行業產能要求適中的批量產線
可選配MES協議轉換模塊

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