刻蝕機
適合于8英寸及以下晶圓的單片刻蝕工藝
可選耐腐蝕PP柜體
可按客戶需求定制設備規格
全自動擺臂、可配備多路刻蝕液
觸摸式人機交互界面,實時顯示設備運行狀態
可選蝕刻液加熱控溫及FFU功能
專用排風、排廢系統、提高設備的安全性

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