全自動標準2-6寸勻膠顯影機
適用于2至6英寸晶圓的勻膠顯影工藝
最大設備配置:4套勻膠（顯影）、10套熱（冷）板單元
6寸以下wafer全自動勻膠/顯影,烘烤全自動工藝處理
整機適合產能要求較高的批量產線
根據客戶工藝需求可加裝溫濕度控制、離子風棒等模塊
可選配MES協議轉換模塊

大型勻膠/顯影機

   顯影是指用還原劑把軟片或印版上經過曝光形成的潛影顯現出來的過程。PS版的顯影則是在印版圖文顯現出來的同時，獲得滿足印刷要求的印刷版面和版面性能。顯影機是將曬制好的印版通過半自動和全自動的程序將顯影、沖洗、涂膠、烘干等工序一次性部分或全部完成的印刷處理設備。

產品介紹

適用于2至6英寸晶圓的勻膠顯影工藝
最大設備配置:4套勻膠(顯影)、10套熱(冷)板單元
6寸以下wafer全自動勻膠/顯影,烘烤全自動工藝處理
整機適合產能要求較高的批量產線
根據客戶工藝需求可加裝溫濕度控制、離子風棒等模塊
可選配MES協議轉換模塊

產品參數

旋轉速度范圍:20-5000rpm
加速度范圍:20-20000rpm/s
轉速精度:±1rpm
熱盤溫度范圍:50℃-200℃
熱盤溫度均勻性:±1%
冷盤溫度范圍:20°℃-25°℃
冷盤溫度均勻性:±0.2℃
光刻膠粘度:0-1000Cp(可選高粘度光膠機臺)
膠泵類型:氣動或電動膠泵
光刻膠或顯影液管路:≤3路
流量監控:浮子式流量計(可選配超聲流量計)
設備尺寸:1860mm(W)x1700mm(D)x2100mm(H)