勻烤膠一體機
適用于8英寸及以下晶圓的勻膠烤膠工藝
可選耐腐蝕PP柜體或不銹鋼柜體
配置自動供膠系統,根據客戶工藝選擇供膠方式
觸摸式人機交互界面,實時顯示設備運行狀態
高精度伺服控制系統,滿足勻膠工藝要求
可選配去邊、背洗、光刻膠溫控等功能
專業勻膠腔體,通過氣流控制可有效提升工藝指標
可選配置空氣凈化單元（FFU）

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