顯影機
適用于8英寸及以下晶圓的勻膠工藝
可選耐腐蝕PP柜體或不銹鋼柜體
全自動顯影擺臂,可實現顯影液、去離子水、氮氣的自動噴灑及吹干
根據工藝要求可選擇柱形、扇形顯影噴嘴
高精度伺服控制系統,性能穩定
升降式顯影腔體,可有效防止顯影液體的飛濺
根據工藝需求可選配顯影液控溫、FFU等功能

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