18016035557
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產品分類CLASSIFICATION
詳細介紹
| 輸入電源 | AC 220V , 50/60 Hz, |
| 大射頻功率: 100 W | |
| 真空泵功率: < 500W | |
| 總功率: < 600W | |
| 射頻功率 | 射頻功率可在 0 - 100W之間調節 |
| 射頻: 13,56 MHz | |
| 可以與本公司工作人員采用300W或500W的射頻電源，來進行等離子刻蝕和等離子灰化等實驗 | |
| 等離子腔體 | 8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高純石英腔體 |
| 鋁制折疊式法蘭來進行真空密封 | |
| 法蘭上有一個直徑為60mm的觀察窗口 | |
| 控制面板 | 通過6" 彩色觸摸屏，可控制射頻功率、真空泵的開啟、清洗時間和氣體流量等. |
| 儀器內部安裝有一0 - 500ml/minute質量流量計，可精確地控制進氣流量 | |
| 真空泵 | 儀器中包括一臺240L/min直聯式雙旋真空泵、KF25波紋管以及KF25的手動擋板閥。 |
| 極限真空度為50mTorr | |
| 通入氣體 | 等離子腔體中可以通入多種氣體來產生等離子，如N2, Ar, Air，H2、O2和混合氣體等等（根據材料性質所定） |
| 可選 | 可選購 2" - 6" 石英舟來盛放基片 |
| 可選購2-4通道質子或浮子混氣系統 | |
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| 外型尺寸 | 620 L ×450 W ×600 H, mm |
| 質保期 | 一年質保期，終生維護 |
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