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小型等離子清洗機
簡要描述：

PCE-6小型等離子清洗機的等離子腔體為 Φ160mm×190mm的石英腔體，采用的射頻電源功率3.0MHz（1%），輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時也可改變物體表面的性質（如親水和疏水性等），對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設備。

  • 產品型號：PCE-6
  • 廠商性質：代理商
  • 更新時間：2025-03-11
  • 訪  問  量：4100

詳細介紹

    PCE-6小型等離子清洗機的等離子腔體為Φ160mm×190mm的石英腔體，采用的射頻電源功率3.0MHz（1%），輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時也可改變物體表面的性質（如親水和疏水性等），對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設備。

    技術參數

主要特點 通過控制面板的按鍵及開關，可控制調節射頻功率、真空泵的開閉、清洗時間。
時間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數碼管上。
設有一個三通閥,可精確控制進氣流量,以及大氣流清洗腔體。
選用大功率色射頻電源設備可進行等離子刻蝕和等離子灰化實驗。
參數 電源：AC220V  50/60Hz
輸出功率：7.2W、10.2W、29.6W
真空泵功率：<500W
總功率：<600W 
射頻頻率：3.0MHz，功率3檔可手動調節
等離子腔體:高純石英腔體,Φ160mm×190mm，采用鋁制折疊式法蘭進行密封,法蘭上設有Φ45mm 的觀察窗
真空泵：24L/min,直連式雙旋真空泵
極限真空度：50mtorr
通入氣體:可通入多種氣體來產生等離子，如N2、Ar、H2、O2、Air和混合氣體等（根據材料性質選定）
產品規格 尺寸：400mm×300mm×300mm
重量：10.2kg
可選配件 2″-6″石英舟（盛放基片）
2-4通道質子或浮子混氣系統
質保期 一年質保期,終身維護

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